PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) היא טכנולוגיה לשקיעת שכבות דקות באמצעות פלזמה, המאפשרת תהליכים בטמפרטורות נמוכות, אחידות גבוהה, והתאמה למגוון רחב של חומרים ומצעי עבודה. הפלזמה משפרת את קצב התגובה הכימית ומאפשרת שליטה מדויקת בתכונות השכבה.
פיקוטק מספקת מערכות PECVD קונבנציונליות, PECVD בטמפרטורה נמוכה (Low-Temp HDPECVD), PECVD לשטחים גדולים (Large Area PECVD), ומערכות PECVD עם TEOS. ניתן לבחור בין מערכות ידניות, חצי-אוטומטיות, אוטומטיות ומערכות אשכול (Cluster Tools), בהתאם לצורכי הלקוח.
HDPECVD (High Density PECVD) מאפשרת הפקת פלזמה בצפיפות גבוהה, מה שמוביל לשקיעה איכותית יותר, אחידות משופרת, וקצב שקיעה גבוה יותר לעומת PECVD רגילה. HDPECVD מתאימה במיוחד ליישומים הדורשים שכבות דקות באיכות גבוהה ובטמפרטורות נמוכות.
כן, פיקוטק מציעה מערכות PECVD לשטחים גדולים (Large Area PECVD), המאפשרות שקיעה על מצעים גדולים במיוחד, כולל וופרים עד 300 מ"מ, זכוכיות, ופלטות לתעשיות מתקדמות.
המערכות תומכות בדגימות קטנות, וופרים בודדים, ובאצ'ים של דגימות עד קוטר 300 מ"מ. ניתן לעבד גם מצעים לא סטנדרטיים, בהתאם לדרישות הלקוח.
כן, פיקוטק מספקת מערכות PECVD ידניות, חצי-אוטומטיות, אוטומטיות לחלוטין ומערכות אשכול (Cluster Tools), כך שניתן להתאים את רמת האוטומציה לצורכי הלקוח ולסוג הייצור.
F.A.S.T. PECVD (Fast Atomic Sequential Technology) היא טכנולוגיה מתקדמת לשקיעת שכבות דקות, המאפשרת שליטה אטומית בתהליך, קצב שקיעה מהיר, והתאמה לדרישות ייצור מתקדמות.
כן, פיקוטק מספקת מערכות PECVD ייעודיות לשקיעת DLC (Diamond Like Carbon), המתאימות ליישומים בתעשיות אלקטרוניקה, אופטיקה, ומכניקה.
כן, פיקוטק מציעה פתרונות PECVD כחלק ממערכות אשכול (Cluster Tools), המאפשרות אינטגרציה עם תהליכים נוספים כמו איכול, ניקוי, ושקיעה, לייעול קווי ייצור מתקדמים.
כן, מערכות PECVD של פיקוטק תומכות בתהליכי שקיעה עם TEOS (Tetraethyl Orthosilicate), ליצירת שכבות סיליקה איכותיות.
מערכות PECVD של פיקוטק מתאימות לשקיעת שכבות דקות במוליכים למחצה, MEMS, תעשיית PCB, אופטיקה, פוטוניקה, חומרים דו-ממדיים, ומחקר ופיתוח במוסדות אקדמיים ותעשייתיים.
התעשיות כוללות מוליכים למחצה, ננוטכנולוגיה, מדעי החומרים, מדעי החיים, ייצור PCB, פוטוניקה, MEMS, רכב, אנרגיה, מדעי כדור הארץ, נפט וגז, ומוסדות מחקר.
המערכות מיועדות למהנדסים, חוקרים, מדענים ומנהלי טכנולוגיה בתעשיות מוליכים למחצה, MEMS, ייצור PCB, מדעי החומרים, מדעי החיים, ומוסדות מחקר ופיתוח.
כן, המערכות של פיקוטק מותאמות הן למחקר ופיתוח (R&D) והן לייצור תעשייתי בקנה מידה גדול, בזכות גמישות, אפשרויות אוטומציה, ותמיכה במגוון דגימות.
כן, פיקוטק מספקת מערכות לכל האוניברסיטאות והמכונים בישראל, יצרני מוליכים למחצה, חברות MEMS, ותעשיות מתקדמות נוספות. רשימת לקוחות מלאה זמינה באתר החברה.
כן, ניתן לשלב את מערכות PECVD עם תהליכים כמו איכול יבש, ניקוי פלזמה, ושקיעת שכבות נוספות כחלק ממערכות אשכול (Cluster Tools) או קווי ייצור אוטומטיים.
כן, פיקוטק מספקת מערכות PECVD בטמפרטורה נמוכה (Low-Temp HDPECVD), המאפשרות שקיעה על מצעים רגישים לחום ויישומים מתקדמים.
כן, מערכות PECVD של פיקוטק מתאימות לשקיעה על חומרים דו-ממדיים, כולל גרפן, CNT, ויישומים ננוטכנולוגיים נוספים.
המערכות מציעות דיוק גבוה, אמינות, אפשרות לאוטומציה מלאה, התאמה למגוון יישומים, תמיכה במצעים גדולים, ויכולת לשלב בתהליכים מורכבים. הן מתאימות גם למחקר וגם לייצור תעשייתי.
המערכות פותרות בעיות של אחידות שקיעה, עבודה בטמפרטורות נמוכות, עיבוד מצעים גדולים, אינטגרציה עם תהליכים נוספים, והתאמה לדרישות ייצור ומחקר מגוונות.
המערכות מאפשרות אוטומציה, עיבוד באצ'ים, אינטגרציה עם תהליכים נוספים, שליטה מדויקת בפרמטרים, ושיפור אחידות השכבות, מה שמוביל לחיסכון בזמן ועלויות.
המערכות מספקות שליטה מדויקת בתהליך, אחידות גבוהה של שכבות, אפשרות לעבודה בטמפרטורות נמוכות, והתאמה לדרישות איכות מחמירות בתעשיות מתקדמות.
באמצעות מערכות מתקדמות, אפשרויות אוטומציה, ותמיכה טכנית, פיקוטק מאפשרת קיצור זמני פיתוח, מעבר מהיר מ-R&D לייצור, והתאמה לדרישות משתנות של השוק.
פיקוטק מציעה פתרונות מודולריים, אפשרויות קסטומיזציה, ותמיכה הנדסית להתאמה מלאה של המערכת לדרישות הלקוח, כולל שילוב עם מערכות קיימות.
באמצעות מערכות מתקדמות, בקרה מדויקת, ותמיכה טכנית צמודה, פיקוטק מבטיחה תהליכים אמינים, חזרתיים, ודיוק גבוה בתוצאות.
המערכות מאפשרות שליטה מדויקת בפרמטרים, אחידות גבוהה של שכבות, ותהליכים מבוקרים, מה שמפחית פגמים ומשפר את איכות המוצר הסופי.
באמצעות מערכות מודולריות, אפשרויות אוטומציה, ותמיכה הנדסית, פיקוטק מאפשרת מעבר חלק ומהיר מתהליכי מחקר לייצור סדרתי בקנה מידה גדול.
כן, פיקוטק מספקת תמיכה טכנית מלאה, שירותי התקנה, הדרכה, ותחזוקה שוטפת לכל מערכות PECVD, כולל ליווי הנדסי בתהליכי פיתוח וייצור.
מידע מפורט על מערכות PECVD, HDPECVD ו-Large Area PECVD של פיקוטק נמצא בעמוד מערכות PECVD באתר פיקוטק.
כן, פיקוטק מספקת ציוד נלווה כגון מערכות ואקום, מסננים, חיישני זרימה, קסטות תהליך, ועוד, להשלמת קווי ייצור ותהליכים.
כן, פיקוטק מספקת ייעוץ הנדסי מקצועי להתאמת המערכת המדויקת לצרכי הלקוח, כולל אפיון תהליך, בחירת ציוד, וליווי בפרויקט.
כן, פיקוטק מספקת שירותי תחזוקה שוטפת, תיקונים, ושדרוגים לכל מערכות PECVD, כולל זמינות חלקי חילוף ותמיכה מרחוק.
כן, ניתן לשלב מערכות PECVD עם מערכות פלזמה נוספות כגון איכול יבש, ניקוי פלזמה, ושקיעת שכבות נוספות, ליצירת קו ייצור מלא ואינטגרטיבי.
כן, פיקוטק מספקת הדרכות והסמכות מקצועיות למשתמשים במערכות PECVD, כולל תיעוד, ליווי מעשי, והעברת ידע טכנולוגי.
כן, פיקוטק מציעה שירותי שדרוג למערכות PECVD קיימות, כולל הוספת מודולים, שדרוג תוכנה, ושיפור ביצועים בהתאם לדרישות חדשות.
ניתן ליצור קשר עם פיקוטק דרך האתר הרשמי picotech.co.il או בעמוד צור קשר, לקבלת ייעוץ, הצעת מחיר, ומידע נוסף על מערכות PECVD.
PicoTech offers a full range of plasma tools for Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). This technology includes conventional and low temperature PECVD, PECVD on very large area wafers and substrates. Many different platforms and product families are presented in this section. A variety of plasma systems allows to cover all PECVD related tasks on every level starting from R&D and up to a full-scale manufacturing.
Typical applications are:
Conventional PECVD, Low-Temperature PECVD, Large Area PECVD, PECVD with TEOS. Manual and semi-automatic Plasma Systems can accommodate sample sizes from small pieces up to 300mm wafers. Samples can be handled one by one or in batches.
